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离子注入等工艺设备配套系统 | |
项目所在采购意向: | |
采购单位: | ****点击查看 |
采购项目名称: | 离子注入等工艺设备配套系统 |
预算金额: | 200.000000万元(人民币) |
采购品目: | A020699其他电气设备 |
采购需求概况 : | 离子注入等工艺设备配套系统,1套 需完成离子注入、NLD干法刻蚀、电子束蒸发EBE设备的动力配电工程、工艺配电采购及安装、工艺排气采购及安装、工艺管道采购及安装、工艺气体及特气采购及安装等相关工艺设备配套工程采购;氯气系统安装等所有技术要求内包含内容。 |
预计采购时间: | 2025-07 |
备注: |
本次公开的****点击查看政府采购工作的初步安排,具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。